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ラボ分析計

誘導結合プラズマ質量分析計(ICP-MS)の基礎

<概要>

ICP-MSとは溶液中の無機元素を高感度で分析するための装置です。

アルゴンプラズマ(ICP)中に試料溶液を噴霧し、加熱分解によりイオン化された原子を質量分析部(MS)に導入し、個々の元素を定量、定性します。

<特徴>
  • 周期表上のほとんどすべての元素を同時に測定可能
  • pptからppmの濃度レベルで測定可能
  • 同位体比測定が可能
  • アジレントICP-MSではスペクトル干渉を低減する手段として、質量分析部の前段にコリジョンリアクションセルを搭載
  • 分子量が比較的大きい、または極性が比較的高い成分分析に有効
<用途>
  • 環境:工業用水・飲料水・河川水中の微量金属分析、土壌中の微量金属分析など
  • 食品:食品中の微量金属分析、重金属分析など
  • 医薬品:成分中の不純物分析など
  • 半導体:フォトレジスト、ウエハ、超純水中の微量不純物分析など
  • 化学工業:材料・製品中の不純物分析など

※ 非常に幅広い濃度で測定できるため、微量金属分析の様々な分野で使用されています。

<基本構成>

ICP-MS模式図

  1. ネブライザーで霧状にされた試料溶液が、高温のプラズマ中で脱溶媒、気化、原子化の工程を経てイオン化されます。
  2. プラズマ中で生成したイオンはサンプリングコーン、スキマーコーンと呼ばれるインターフェース部を通過して、高真空中に引き込まれます。
  3. 高真空中に引き込まれたイオンはイオンレンズで収束され、質量分析部で質量/電荷数(m/z)ごとに分離されて、検出器で計測されます。